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詳細介紹
PDF資料,SMC大流量型3通電磁閥V114A-5LOUB
產品特點：
【無需真空破壞閥】
通過無正壓的真空脫離，無需采取措施防止小芯片被吹走。
無需繁瑣地調整破壞壓力、流量及定時。
不使用真空破壞閥，實現了精簡化。
【占用空間小化】
與以往的帶破壞單元相比，安裝面積減少44％，重量減少53%，適用于制造裝置的小型化。
即使在小空間也可安裝，裝置設計的自由度更高。
通過輕量化，便于安裝在裝置可動部。
【可配備壓力傳感器】
單元中配備真空用壓力傳感器，外形更小巧。
負壓檢測也實現省空間。
采用U形卡銷固定壓力傳感器，提高可維護性。
【可安裝真空用過濾器】
配管過程中無需安裝過濾器。
真空用過濾器采用快插式更換。
主閥中沒有滑動密封圈，因此可禁油處理（特注品）。不向外部排氣。
高速下響應穩定。
真空可使用。
對應0603芯片 。
響應速度：13msec （500mm 時※）/18.5msec （1000mm 時※）
無需調即可使工件平穩脫落。
不需要調整真空?正壓切換時間。
不需要破壞空氣的節流回路。
低功率型 （2W DC 低功率型）
壓力從0MPa起可以使用。
可混合安裝VK300。
直動式電磁閥。
主閥結構為間隙密封方式。
壓力從0MPa起可以使用。
可供給不同壓力。
PDF資料,SMC大流量型3通電磁閥V114A-5LOUB
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